晶圆机器人（晶圆机器人原理）

目录：

• 1、smif晶圆盒和FOUP的区别
• 2、什么叫圆柱坐标机器人?
• 3、设备前端模块(EFEM)简介

smif晶圆盒和FOUP的区别

1、smif晶圆盒和FOUP的区别是通用晶片盒放置能力。smif晶圆盒由特殊设计的机器人组成，它能完全将晶片盒自动取出和放置到设备的变址器上，从而有通用晶片盒放置能力。而FOUP是自动搬运，没有通用晶片盒放置能力。

2、smif晶圆盒是该对位基准点包含位于该晶圆盒的一后壁上的一线以及位于该晶圆盒的一底板上的另一线。而FOUP是储存晶圆盒的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器。

3、Smart Tag是一种自动化输送器识别系统，专门用于半导体晶圆厂自动化。结合了先进显示器、逻辑与通讯技术，提供多功能电子运行卡。此系统能追踪、识别及管理晶圆传送盒（FOUP）、SMIF-Pod、晶圆盒、掩膜版、处理器和探针板。识别标签粘贴在需跟踪部件上，如200mm pod、300mm FOUP、晶圆盒等。

4、Smart Tag则是这一智慧的核心，作为自动化半导体生产线的关键组件，它整合了尖端显示、逻辑和通信技术，不仅用于晶圆厂的智能化管理，还提供了一体化的解决方案，无缝对接FOUP（晶圆装载盒）、SMIF-Pod等重要元件的追踪和管理。

什么叫圆柱坐标机器人?

1、圆柱坐标机器人是一种工业自动化设备，其结构由底座、旋转关节、提升关节和直线关节组成。底座固定在地面上，作为机器人的支撑点，旋转关节允许机器人在水平面上进行360度旋转，提升关节则控制机器人的垂直移动。

2、圆柱坐标型机器人具备一个旋转轴（垂直轴）和一个水平臂，能够在水平面上进行旋转以及沿垂直轴的上下移动。这种结构适用于需要复杂路径操作的场合。 球坐标型机器人：球坐标型机器人，亦称极坐标型，由一个旋转轴（垂直轴）、一个俯仰轴和一个伸缩轴组成。

3、圆柱坐标型机器人：臂部可进行升降、回转和伸缩动作。 球坐标型机器人：臂部能进行回转、俯仰和伸缩。 多关节型机器人：臂部具有多个转动关节。 平面关节型机器人：轴线相互平行，实现平面内定位和定向。 直角坐标型机器人：臂部可沿三个直角坐标移动。

4、圆柱坐标机器人：其结构由一个垂直的柱体、水平移动的关节和底座组成。水平关节安装在垂直柱体上，可沿柱体上下移动，同时柱体和底座之间的转动提供了额外的运动自由度。

设备前端模块(EFEM)简介

EFEM作为半导体生产设备的核心组件，其精密机械手、晶圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）共同构建起高效、洁净的工作流程。在高洁净环境下，这些组件协同运作，确保单片晶圆在制程和检测环节的顺畅传输，对于任何半导体制造流程和检测设备来说，都是不可或缺的组成部分。

目前，EFEM制造商的热度集中在RORZE、PHT和SINFONIA等几大品牌。EFEM，即设备前端模块，其核心组件包括配备大气晶圆搬运机器人的框架，以及内置FFU（风扇过滤器单元）和安装于前端的装载端口。这些设备通常安装于工艺设备的前端，提供高效的晶圆搬运解决方案。

目前，EFEM（设备前端模块）的市场主要集中在几大品牌，包括RORZE、PHT和SINFONIA。EFEM的核心部件包括带有大气晶圆搬运机器人的框架、内置FFU（风扇过滤器单元）以及安装在前端的装载端口。这些设备通常安装在工艺设备的前端，为晶圆搬运提供高效的解决方案。